国产光刻机核心子系统验证通过，半导体设备ETF易方达涨逾2%

截至6月2日10时42分，半导体设备ETF易方达（159558）报2.742元，涨幅2.20%，成交额6.13亿元。其跟踪的中证半导体材料设备指数（931743）报7862.35点，涨幅2.10%，近一年涨跌幅为136.74%。

前五大权重股中，雅克科技涨5.71%，北方华创涨2.72%，长川科技涨2.25%，中微公司涨1.64%，沪硅产业跌3.52%。

6月2日，由上海微电子牵头、联合科益虹源、华卓精科、国望光学等企业研发的28nm浸没式DUV光刻机核心子系统——光源、物镜、双工件台——全部通过最终验证，性能指标达到商用标准。整机型号SSA800/10W，三大子系统国产化率超85%，原生支持28nm制程，通过多重曝光可稳定实现14nm且良率超90%。这标志着我国成为全球第二个掌握DUV光刻机全产业链技术的国家。目前该机型已批量交付中芯国际、华虹半导体，2026年计划交付50至200台，单价约1.1亿元，较ASML同级别机型低30%至40%，覆盖汽车MCU、电源管理、物联网等全球占比超70%的成熟制程市场。

东吴证券认为，美日荷持续强化对先进制程设备出口限制，半导体设备国产替代诉求迫切。2024年中国大陆半导体设备销售额达495亿美元、全球占比42%，连续四年为全球第一大设备市场，当前国产化率约22%。刻蚀、清洗、CMP等环节已实现阶段性突破，但光刻、薄膜沉积、检测等高端环节国产化率仍低于25%，替代空间广阔。本次光刻机核心子系统全面验证通过，有望加速成熟制程产线国产设备导入，推动半导体设备板块从"单点突破"迈向"全链条替代"。

半导体设备ETF易方达（159558）跟踪中证半导体材料设备指数，综合费率为0.60%（管理费0.50%+托管费0.10%）。联接基金为易方达中证半导体材料设备主题ETF联接A（021893）、联接C（021894）。