企查查APP显示，近日，辽宁聚芯智能装备创新中心有限公司成立，经营范围包含：半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造等。企查查股权穿透显示，该公司由拓荆科技（688072）、恒运昌（688785）、珂玛科技（301611）等共同持股。
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