触底反弹！高“设备”含量的科创半导体ETF（588170）、半导体设备ETF华夏（562590）翻红

截至2026年3月4日 09:46，科创半导体ETF（588170）上涨0.58%，半导体设备ETF华夏（562590）上涨0.80%。

热门个股方面，神工股份上涨3.16%，耐科装备上涨2.10%，兴福电子上涨2.00%，安集科技上涨1.97%，华海诚科上涨1.76%。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手2.33%，成交2.01亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手1.68%，成交4377.96万元。

规模方面，科创半导体ETF近1周规模增长1.76亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达26.03亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF近4天获得连续资金净流入，最高单日获得4.69亿元净流入，合计“吸金”9.17亿元，日均净流入达2.29亿元

相关ETF：科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高（约50%），聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高（约63%），直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”（设备商）的确定性需求。